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六氯乙硅烷
產品類別:硅烷化學品
產品說明:我公司從2012年開始實施六氯乙硅烷產品的研發工作,2020年百噸級高純六氯乙硅烷生產線即將建成。提供工業級、電子級產品。
產品介紹

           
            六氯乙硅烷,英文名稱Hexachlorodisilane,簡稱HCDS。
           常溫下為無色液體,冰點約1
ºC。在芯片生產中作為CVD沉積的硅源;在有機合成中作為優良的還原劑。


外觀與性:
無色液體
 
密度:
1.562 g/mL at 25 °C(lit.)
 
沸點:
144-145.5 °C(lit.)
 
熔點:
<0ºC
 
閃點:
78°C
 
折射率:
n20/D 1.475(lit.)
 
穩定性:
穩定,但與水劇烈反應。對濕氣敏感,水解物對摩擦敏感。與水、濕氣、酸、強堿、氧化物、醇反應。

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